ドライエッチング装置による素材の耐性評価
評価データ例（素材材質とガス種によるエッチングRATE比較）
ドライエッチング装置でのプラズマ処理は、導入するガスにより様々な環境をつくることができます。新素材（材料）が使用される環境をシュミレーションし、プラズマ耐性を評価することが可能です。また、安定した再現性のあるデータ取得には、サンプル作製のノウハウも重要になります。ぜひ、サンプル作製前のご検討段階でお問い合わせください。
耐プラズマ性評価の特徴
使用可能ガスはSF6、CHF3、CF4、C4F8、Ar、O2、Cl2となります。使用するガスにより、素材・材質のエッチングレートはことなります。ご希望の素材、目的等を確認できれば、豊富な経験からガス種、条件等アドバイス致します。またご希望によりお立合いでの作業も可能です。
【測定方法】素材の一部をプラズマに曝されないようにマスキングを施します。投入する試料片の状態により最適なマスク方法を検討します。エッチング後、マスクを外し、プラズマによってエッチングされた部分と未処理部分を触針式段差計にてエッチング量を測定します。またオプションとなりますがプラズマ耐性評価時に処理前後のパーティクル状態をカウントして、発塵性についても評価することが可能です。
材の一部をプラズマに曝されないようにマスキングを施します。投入する試料片の状態により最適なマスク方法を検討します。
エッチング後、マスクを外し、プラズマによってエッチングされた部分と未処理部分を触針式段差計にてエッチング量を測定します。
耐性を向上させるために含有させた素材によっては、発塵の原因物質となる可能性があります。プラズマ耐性評価時に処理前後のパーティクル状態をカウントして、発塵性についても評価することが可能です。
【装置仕様について】
ドライエッチング装置CCP-RIE（平衡平板型）とICP-RIE（独立バイアス型）を使用します。装置の仕様は以下URLよりご確認いただけます。
ドライエッチング装置仕様 / SEM写真 https://www.kyodo-inc.co.jp/electronics/wafer-process/etch-spec.html
Φ220mmのステージにエッチング分布の影響を抑えるために、基板を環状配置します。
ステージは、20℃固定の冷却機構となります。
耐プラズマ性評価実施現場について
住所：〒212-0032 神奈川県川崎市幸区新川崎7番7号 AIRBIC1F 株式会社協同インターナショナル TEL： 044-200-4151
川崎市創造のもりエリア内
協同インターナショナルについて
「今まで無かったモノ」「真似されないモノ」の販売を通してお客様にメリットを提供する、それが創立以来の当社の企業理念です。業種・国境などあらゆる壁を乗り越えて、既存の価値観に囚われないチャレンジを続け、社会貢献に努めます。
【会社概要】
会社名：株式会社 協同インターナショナル
所在地：川崎市宮前区宮崎2-10-9
代表者：池田謙伸
設立：1970年10月1日
URL：www.kyodo-inc.co.jp
事業内容：電子・ライフサイエンス・生ハムを始めとした高級食材・畜産酪農の製造および輸入販売。
【お問い合わせ先】
株式会社協同インターナショナル 電子部
TEL：044-852-7575 （平日 9:00～17:00）
e-mail： denshi@kyodo-inc.co.jp
評価データ例（素材材質とガス種によるエッチングRATE比較）
ドライエッチング装置でのプラズマ処理は、導入するガスにより様々な環境をつくることができます。新素材（材料）が使用される環境をシュミレーションし、プラズマ耐性を評価することが可能です。また、安定した再現性のあるデータ取得には、サンプル作製のノウハウも重要になります。ぜひ、サンプル作製前のご検討段階でお問い合わせください。
耐プラズマ性評価の特徴
使用可能ガスはSF6、CHF3、CF4、C4F8、Ar、O2、Cl2となります。使用するガスにより、素材・材質のエッチングレートはことなります。ご希望の素材、目的等を確認できれば、豊富な経験からガス種、条件等アドバイス致します。またご希望によりお立合いでの作業も可能です。
【測定方法】素材の一部をプラズマに曝されないようにマスキングを施します。投入する試料片の状態により最適なマスク方法を検討します。エッチング後、マスクを外し、プラズマによってエッチングされた部分と未処理部分を触針式段差計にてエッチング量を測定します。またオプションとなりますがプラズマ耐性評価時に処理前後のパーティクル状態をカウントして、発塵性についても評価することが可能です。
材の一部をプラズマに曝されないようにマスキングを施します。投入する試料片の状態により最適なマスク方法を検討します。
エッチング後、マスクを外し、プラズマによってエッチングされた部分と未処理部分を触針式段差計にてエッチング量を測定します。
耐性を向上させるために含有させた素材によっては、発塵の原因物質となる可能性があります。プラズマ耐性評価時に処理前後のパーティクル状態をカウントして、発塵性についても評価することが可能です。
【装置仕様について】
ドライエッチング装置CCP-RIE（平衡平板型）とICP-RIE（独立バイアス型）を使用します。装置の仕様は以下URLよりご確認いただけます。
ドライエッチング装置仕様 / SEM写真 https://www.kyodo-inc.co.jp/electronics/wafer-process/etch-spec.html
Φ220mmのステージにエッチング分布の影響を抑えるために、基板を環状配置します。
ステージは、20℃固定の冷却機構となります。
耐プラズマ性評価実施現場について
住所：〒212-0032 神奈川県川崎市幸区新川崎7番7号 AIRBIC1F 株式会社協同インターナショナル TEL： 044-200-4151
川崎市創造のもりエリア内
協同インターナショナルについて
「今まで無かったモノ」「真似されないモノ」の販売を通してお客様にメリットを提供する、それが創立以来の当社の企業理念です。業種・国境などあらゆる壁を乗り越えて、既存の価値観に囚われないチャレンジを続け、社会貢献に努めます。
【会社概要】
会社名：株式会社 協同インターナショナル
所在地：川崎市宮前区宮崎2-10-9
代表者：池田謙伸
設立：1970年10月1日
URL：www.kyodo-inc.co.jp
事業内容：電子・ライフサイエンス・生ハムを始めとした高級食材・畜産酪農の製造および輸入販売。
【お問い合わせ先】
株式会社協同インターナショナル 電子部
TEL：044-852-7575 （平日 9:00～17:00）
e-mail： denshi@kyodo-inc.co.jp
